¿Qué es un sistema Wet Bench?
Un sistema Wet Bench (banco húmedo) es una instalación industrial de proceso utilizada para aplicaciones químicas húmedas como limpieza, limpieza de obleas (Wafer Cleaning), grabado químico húmedo y tratamiento superficial.
Permite el procesamiento preciso, reproducible y controlado de materiales bajo condiciones definidas como:
- concentración de productos químicos
- temperatura del proceso
- tiempo de proceso
PaceTec está especializada en el desarrollo de bancos húmedos, sistemas Wet Bench e instalaciones de procesos químicos húmedos para aplicaciones en:
- industria de semiconductores
- tecnología médica
- microelectrónica
- procesamiento de vidrio
El enfoque principal se centra en soluciones:
- seguras y estables desde el punto de vista del proceso
- aptas para salas limpias
- automatizadas
- diseñadas para aplicaciones industriales de alta exigencia
En las siguientes páginas encontrará conocimientos técnicos especializados sobre:
- fundamentos de los sistemas Wet Bench
- limpieza de obleas (Wafer Cleaning)
- procesos RCA (SC1 / SC2)
- limpieza Megasonic y Ultrasónica
- procesos HF Dip
- grabado químico húmedo (por ejemplo HF y KOH)
- aplicaciones en tecnología médica y procesamiento de vidrio