Semiconductores y electrónica
Procesos químicos húmedos en la industria de semiconductores y electrónica
Los procesos químicos húmedos son omnipresentes e imprescindibles en la industria de semiconductores y electrónica. Con las máquinas de PACE-Tec, reproducimos estos procesos en la química húmeda para obleas y sustratos de vidrio.Ámbitos de aplicación típicos de los bancos húmedos:
- Microelectrónica: Limpieza y estructuración de obleas de silicio para la fabricación de CI (circuitos integrados) y transistores.
- Fotónica: Procesamiento de obleas de arseniuro de galio (GaAs) y fosfuro de indio (InP) para componentes optoelectrónicos como LEDs o láseres.
- Sensorización: Fabricación de MEMS, sensores y actuadores mediante procesos de grabado y recubrimiento.
- Electrónica de potencia: Procesamiento de obleas de carburo de silicio (SiC) y nitruro de galio (GaN) para dispositivos de alta potencia.
- Biotecnología: Modificación de superficies para sistemas Lab-on-a-Chip y sensores médicos.
Entre otros, los siguientes pasos de proceso típicos pueden realizarse en nuestras instalaciones de química húmeda durante la fabricación de obleas:
- Procesos de limpieza como SC1/ SC2/ RCA/ HF-Dip
- Limpieza por ultrasonido
- Limpieza por megasonido
- Grabado (grabado de Au; grabado con nitrito; grabado de óxidos; grabado con TMAH; grabado con KOH; grabado con NaOH; grabado de Al)
- Revelado
- Recubrimiento químico sin corriente
- Stripping
- Lift-Off
- Secado
Nuestros casos de éxito en semiconductores y electrónica
Nuestras instalaciones se utilizan donde se requiere precisión y fiabilidad. Aquí encontrará una selección de proyectos de clientes del sector de semiconductores y electrónica.
Aplicaciones exigentes en industrias de alta tecnología
Nuestras máquinas pueden configurarse tanto como sistemas para obleas individuales como en modo batch, considerando siempre los requisitos específicos del proceso.
La posibilidad de integración SECS-GEM y el uso de materiales compatibles con FM4910 son estándar. Con nosotros, se pueden procesar obleas de hasta 300 mm (12″) con los más altos estándares. El banco húmedo conforme con ATEX está diseñado para evitar fuentes de ignición potenciales mediante el uso de materiales robustos, sistemas de ventilación especializados y mecanismos de seguridad precisos, garantizando así un manejo seguro de disolventes inflamables como el isopropanol (IPA) y la acetona.
Nuestros bancos húmedos personalizados y de última generación están especialmente diseñados para satisfacer los requisitos de estas aplicaciones complejas, ofreciendo la máxima seguridad de proceso, eficiencia y precisión.