PaceTec ha entregado con éxito un proyecto de alta complejidad para un instituto europeo líder en investigación de semiconductores: el diseño, fabricación e instalación de 10 bancos húmedos personalizados (wet benches) para el procesamiento de wafers de 200 mm (8 pulgadas) en entornos de sala limpia de ultra alta pureza.
El proyecto se centró en una solución completa de procesos húmedos para semiconductores orientada a investigación y desarrollo, diseñada para máxima estabilidad de proceso, reproducibilidad y mínima contaminación por partículas.
Solución Integrada de Procesos Húmedos para I+D en Semiconductores
Los sistemas instalados cubren una amplia gama de procesos críticos:
- Procesos de grabado HF, BOE y óxidos
- Limpieza SC1 y SC2 con asistencia megasónica
- Procesos de revelado basados en TMAH
- Aplicaciones de eliminación de resist (Posistrip)
- Limpieza ultrasónica con acetona e IPA
- Grabado de metales para microfabricación avanzada
Diseño de Ultra Alta Pureza para Fabricación de Semiconductores
El proyecto cumple estrictos estándares de Ultra High Purity (UHP):
- Materiales de grado semiconductor como PFA, PTFE, PVDF y cuarzo
- Superficies libres de metal para evitar contaminación
- Diseño optimizado de flujo laminar y desbordamiento
- Rendimiento validado: < 20 partículas > 0,3 µm por wafer
- Contaminación metálica: < 1E10 átomos/cm²
Arquitectura Inteligente para Máximo Control de Proceso
- Control de temperatura PID (±1 °C)
- Separación completa de áreas químicas, eléctricas y neumáticas
- Purga de nitrógeno en compartimentos críticos
- Sistema de detección de fugas y gestión de derrames
- Modo energético Active/Idle con reducción de extracción
Integración en Instalaciones de Semiconductores
- Sistemas de agua DI y agua caliente DI (18 MΩ·cm)
- Suministro químico SC1, SC2, HF, H₂O₂, NH₄OH, IPA, acetona
- Sistemas de drenaje especializados: neutralización, HF, solventes
- Interfaces industriales estándar: PFA, Swagelok, VCR
Referencia en Tecnología de Procesos Húmedos
PaceTec refuerza su posición en:
- Equipos wet bench para semiconductores
- Procesamiento químico de ultra alta pureza
- Soluciones para wafers de 8 pulgadas
- Equipos personalizados para I+D
