Solución personalizada de procesos húmedos para la industria de semiconductores
PaceTec desarrolló y realizó una wet bench manual altamente compleja para procesos exigentes de limpieza y grabado en la fabricación de semiconductores. El sistema fue diseñado específicamente para medios químicos altamente corrosivos, requisitos máximos de sala limpia y los más altos estándares de seguridad.
Con esta solución personalizada de wet bench, PaceTec demuestra una vez más su competencia como especialista en:
- Sistemas de procesos húmedos para la industria de semiconductores
- Wet benches para salas limpias ISO Clase 5
- Sistemas de procesos químicos para aplicaciones HF, HNO₃ y KOH
- Construcción de equipos en PFA, ECTFE y FM4910
- Ingeniería de sistemas especiales para microelectrónica y fabricación de semiconductores
- Control automatizado de procesos y gestión de medios químicos
Desafío: requisitos extremos de seguridad, sala limpia y resistencia química
Los requisitos del sistema de proceso fueron excepcionalmente exigentes:
- Procesamiento de químicos altamente agresivos como HF, H₂SO₄, HNO₃, HCl, H₂O₂ y KOH
- Compatibilidad con sala limpia ISO Clase 5
- Separación segura de diferentes áreas de proceso
- Diseño completamente conforme a ATEX y EHS
- Alta flexibilidad de procesos para diferentes procedimientos de limpieza y grabado
- Materiales resistentes a productos químicos para seguridad operativa a largo plazo
- Gestión segura de gases de escape con vapores ácidos y óxidos de nitrógeno
- Recetas de proceso programables individualmente
- Alta facilidad de mantenimiento y máxima disponibilidad del sistema
PaceTec desarrolló una wet bench configurada a medida con materiales altamente resistentes y un sistema de control de procesos inteligente.
Aspectos técnicos destacados de la wet bench de PaceTec
Diseño optimizado para sala limpia
El sistema fue fabricado completamente con materiales conformes a FM4910 y optimizado para su uso en entornos de sala limpia altamente sensibles.
Características principales:
- Soldaduras compatibles con sala limpia
- Construcción estanca a líquidos
- Separación de áreas de proceso para baños metálicos y plásticos
- Sistema integrado de detección de fugas
- Compuertas de extracción de aire controladas neumáticamente
- Área de trabajo iluminada con LED
- Sistemas de seguridad con enclavamientos e interruptores de emergencia
Tanques de proceso altamente resistentes para químicos agresivos
Los tanques de proceso diseñados individualmente permiten el manejo seguro de:
- Ácido fluorhídrico (HF)
- Ácido sulfúrico (H₂SO₄)
- Ácido nítrico (HNO₃)
- Ácido clorhídrico (HCl)
- Peróxido de hidrógeno (H₂O₂)
- Hidróxido de potasio (KOH)
Materiales utilizados:
- Revestimiento PFA
- ECTFE
- Acero inoxidable (VA)
- Materiales certificados FM4910
Esto garantiza la máxima resistencia a la corrosión y seguridad del proceso.
Control inteligente de procesos para máxima seguridad
Funciones de automatización:
- Gestión individual de recetas de proceso
- Pasos de proceso libremente programables
- Programas automáticos de enjuague
- Monitorización de temperatura
- Monitorización de niveles
- Control de flujo de medios
- Registro completo de datos de proceso
- Mantenimiento remoto a través de red
- Sistema multiusuario con niveles de acceso y contraseñas
Este sistema inteligente reduce significativamente los errores del operador y mejora la estabilidad del proceso.
Enfoque en seguridad ambiental y laboral
PaceTec puso especial énfasis en:
- Diseño conforme a la normativa CE
- Protección contra explosiones (ATEX)
- Enclavamientos de seguridad hardware
- Sistemas de detección de fugas
- Inertización con nitrógeno
- Eliminación segura de productos químicos
- Control optimizado de energía para extracción de gases
- Protección contra emisiones y sustancias peligrosas
El sistema cumple con todas las normas europeas relevantes de seguridad y medio ambiente.
Resultado: máxima seguridad de proceso y alta disponibilidad del sistema
Con la exitosa implementación de este sistema de proceso húmedo altamente complejo, PaceTec logró:
- Máxima compatibilidad con salas limpias
- Procesamiento seguro de químicos agresivos
- Alta estabilidad de proceso
- Programación flexible de procesos
- Reducción de tiempos de mantenimiento
- Uso optimizado de productos químicos
- Alta seguridad operativa
- Fabricación de semiconductores preparada para el futuro
Este proyecto demuestra claramente la experiencia de PaceTec en sistemas de wet bench personalizados y equipos de procesos químicos para la industria de semiconductores.
Por qué PaceTec?
PaceTec desarrolla y fabrica soluciones personalizadas:
- Wet benches
- Sistemas de procesos húmedos
- Sistemas de limpieza para semiconductores
- Sistemas de procesos químicos
- Equipos para salas limpias
- Sistemas especiales para microelectrónica
- Sistemas HF
- Sistemas de lift-off y grabado
- Sistemas de limpieza de obleas
Made in Germany, diseñado para los requisitos más exigentes en fabricación de semiconductores, producción MEMS, fotónica, microelectrónica, I+D y producción en salas limpias de alta gama.
