Solution sur mesure de procédé humide pour l’industrie des semi-conducteurs
PaceTec a développé et réalisé une wet bench manuelle hautement complexe pour des procédés de nettoyage et de gravure exigeants dans la fabrication de semi-conducteurs. L’installation a été conçue spécialement pour des produits chimiques hautement corrosifs, des exigences maximales de salle blanche et les normes de sécurité les plus strictes.
Avec cette solution de wet bench sur mesure, PaceTec démontre une fois de plus son expertise en tant que spécialiste de :
- Systèmes de procédés humides pour l’industrie des semi-conducteurs
- Wet benches pour salles blanches ISO Classe 5
- Systèmes de procédés chimiques pour applications HF, HNO₃ et KOH
- Construction d’installations en PFA, ECTFE et FM4910
- Ingénierie d’équipements spéciaux pour la microélectronique et la fabrication de semi-conducteurs
- Automatisation des procédés et gestion des fluides
Défi : exigences maximales en matière de sécurité, salle blanche et résistance chimique
Les exigences du système de procédé étaient exceptionnellement élevées :
- Utilisation de produits chimiques hautement agressifs tels que HF, H₂SO₄, HNO₃, HCl, H₂O₂ et KOH
- Compatibilité salle blanche ISO Classe 5
- Séparation sécurisée des différentes zones de procédé
- Conformité complète aux normes ATEX et EHS
- Grande flexibilité des procédés pour différents processus de nettoyage et de gravure
- Matériaux résistants aux produits chimiques pour une sécurité opérationnelle à long terme
- Gestion sécurisée des fumées contenant des acides et des oxydes d’azote
- Recettes de procédés programmables individuellement
- Haute facilité de maintenance et disponibilité maximale de l’installation
PaceTec a développé une wet bench configurée sur mesure avec des matériaux hautement résistants et un contrôle de procédé intelligent.
Points techniques forts de la wet bench PaceTec
Conception optimisée pour salle blanche
L’installation a été entièrement fabriquée avec des matériaux conformes FM4910 et optimisée pour une utilisation en environnements de salle blanche très sensibles.
Caractéristiques principales :
- Soudures conformes aux standards salle blanche
- Construction étanche aux liquides
- Séparation des zones de procédé pour bains métalliques et plastiques
- Système intégré de détection de fuites
- Clapets d’extraction d’air à commande pneumatique
- Zone de travail éclairée par LED
- Systèmes de sécurité avec interverrouillages et arrêt d’urgence
Bains de procédé hautement résistants pour produits chimiques agressifs
Les cuves de procédé conçues individuellement permettent la manipulation sécurisée de :
- Acide fluorhydrique (HF)
- Acide sulfurique (H₂SO₄)
- Acide nitrique (HNO₃)
- Acide chlorhydrique (HCl)
- Peroxyde d’hydrogène (H₂O₂)
- Hydroxyde de potassium (KOH)
Matériaux utilisés :
- Revêtement PFA
- ECTFE
- Acier inoxydable (VA)
- Matériaux certifiés FM4910
Cela garantit une résistance maximale à la corrosion et une sécurité de procédé optimale.
Contrôle intelligent des procédés pour une sécurité maximale
Fonctions d’automatisation :
- Gestion individuelle des recettes de procédés
- Étapes de processus librement programmables
- Programmes de rinçage automatiques
- Surveillance de la température
- Surveillance des niveaux
- Contrôle des flux de médias
- Enregistrement complet des données de procédé
- Maintenance à distance via réseau
- Système multi-niveaux d’utilisateurs et de mots de passe
Ce système intelligent réduit considérablement les erreurs opérateurs et améliore la stabilité des procédés.
Focus sur la sécurité environnementale et industrielle
PaceTec a accordé une importance particulière à :
- Conformité CE de l’installation
- Protection contre les explosions (ATEX)
- Interverrouillages de sécurité matériels
- Systèmes de détection de fuites
- Inertisation à l’azote
- Élimination sécurisée des produits chimiques
- Gestion optimisée de l’énergie pour les systèmes d’extraction
- Protection contre les émissions et substances dangereuses
L’installation respecte toutes les normes européennes pertinentes en matière de sécurité et d’environnement.
Résultat : sécurité maximale et haute disponibilité de l’installation
Grâce à la réalisation réussie de ce système de procédé humide hautement complexe, PaceTec a obtenu :
- Compatibilité maximale avec les salles blanches
- Traitement sécurisé de produits chimiques agressifs
- Stabilité élevée des procédés
- Programmation flexible des processus
- Temps de maintenance réduits
- Utilisation optimisée des produits chimiques
- Sécurité opérationnelle élevée
- Fabrication de semi-conducteurs tournée vers l’avenir
Ce projet démontre de manière impressionnante l’expertise de PaceTec dans les systèmes de wet bench sur mesure et les équipements de procédés chimiques pour l’industrie des semi-conducteurs.
Pourquoi PaceTec ?
PaceTec développe et fabrique des solutions sur mesure :
- Wet benches
- Systèmes de procédés humides
- Systèmes de nettoyage pour semi-conducteurs
- Installations de procédés chimiques
- Équipements de salle blanche
- Systèmes spéciaux pour la microélectronique
- Systèmes HF
- Systèmes de lift-off et de gravure
- Systèmes de nettoyage de wafers
Made in Germany, conçu pour les exigences les plus élevées dans la fabrication de semi-conducteurs, les MEMS, la photonique, la microélectronique, la R&D et la production en salle blanche haut de gamme.
