Halbleiter & Elektronik
Nasschemische Prozesse sind in der Halbleiter- und Elektronikindustrie allgegenwärtig und nicht wegzudenken. Mit den PACE-Tec Maschinen bilden wir diese Prozesse in der Nasschemie für Wafer/ Glassubstrate ab.
Mögliche Applikationen von Wafern & Substraten:
- Oberflächenreinigung
- Ätzen
- Trocknung mit IPA / Heißluft / HF-Ozon
- Entwicklung von Wafern
- Strippen
- Lift- Off
- Teilereinigung
Anforderungen in der Branche
- SECS- Gem Anbindung
- FM4910 kompatibles Material erforderlich
- unterschiedliche Wafergrößen
- unterschiedliche Waferstärken
- Anpassung an den vorhandenen zertifizierten Prozess
- Evaluierung neuer Prozesse
- Fertigung im Reinraum mit den individuellen Anforderungen
Vorteile für die Branche
- unterschiedliche Wafergrößen/-stärken möglich
- keine Rezertifizierung notwendig
- individuelle Anpassung an den bisherigen Produktionsprozess beim Kunden
Anwendungsbeispiele Bilder Halbleiter & Elektronik
Download Broschüre
Branchen