Halbleiter und Elektronik
Nasschemische Prozesse in der Halbleiterindustrie und Elektronik
Nasschemische Prozesse sind in der Halbleiter- und Elektronikindustrie allgegenwärtig und nicht wegzudenken. Mit den PACE-Tec Maschinen bilden wir diese Prozesse in der Nasschemie für Wafer/ Glassubstrate ab.
Typische Einsatzgebiete von Nassbänken sind:
- Mikroelektronik: Reinigung und Strukturierung von Siliziumwafern für IC (integrierte Schaltungen) – und Transistorfertigung.
- Photonik: Bearbeitung von Galliumarsenid- (GaAs) und Indiumphosphid- (InP) Wafern für optoelektronische Bauteile wie LEDs oder Laser.
- Sensorik: Herstellung von MEMS, Sensoren und Aktoren durch Ätz- und Beschichtungsprozesse.
- Leistungselektronik: Bearbeitung von Siliziumkarbid- (SiC) und Galliumnitrid- (GaN) Wafern für Hochleistungsbauelemente.
- Biotechnologie: Oberflächenmodifikation für Lab-on-a-Chip-Systeme und medizinische Sensoren.
Unter anderem können folgenden typischen Prozessschritte bei der Waferherstellung auf unseren nasschemischen Anlagen durchgeführt werden:
- Reinigungsprozesse wie SC1/ SC2/ RCA/ HF- Dip
- Ultraschallreinigung
- Megaschallreinigung
- Ätzung ( Au- Ätzen; Nitrit- Ätzen; Oxid- Ätzen; TMAH- Ätzen; KOH- Ätzen; NaOH- Ätzen; Al- Ätzen)
- Entwicklung
- Stromlose Beschichtung
- Stripping
- Lift- Off
- Trocknung
Unsere Kundenerfolge für
Halbleiter und Elektronik
Unsere Anlagen sind dort im Einsatz, wo Präzision und Zuverlässigkeit gefragt sind. Hier finden Sie ausgewählte Kundenprojekte aus den Branchen Halbleiter und Elektronik.
Anspruchsvolle Anwendungen in High-Tech-Industrien
Unsere Maschinen können sowohl als Einzelwaferanlagen, wie auch als Batchanlagen, die jeweils die prozessspezifischen Anforderungen berücksichtigen, ausgelegt werden.
Die Möglichkeit zur SECS- Gem Anbindung und Verwendung von FM4910- kompatiblem Material sind selbstverständlich. Bei uns können Wafer bis zu einer Größe von 300 mm (12″) mit höchsten Standards bearbeitet werden. Die ATEX-konforme Nassbank ist so konstruiert, dass sie potenzielle Zündquellen vermeidet, indem sie auf robuste Materialien, spezielle Belüftungssysteme und präzise Sicherheitsmechanismen setzt, um eine sichere Handhabung von brennbaren Lösemitteln wie Isopropanol (IPA) und Aceton zu gewährleisten.
Unsere hochmodernen, kundenspezifischen Nassbänke sind speziell auf die Anforderungen dieser komplexen Anwendungen abgestimmt und bieten maximale Prozesssicherheit, Effizienz und Präzision.
Individuelle Lösungen für anspruchsvolle Anwendungen in High-Tech-Industrien
Gemeinsam entwickeln wir die ideale Lösung für Ihre nasschemischen Anwendungen. Wir beraten Sie gerne.
